无掩模光刻系统与大多数微电子光刻胶兼容

Smart Print-UV(SP-UV)无掩模光刻系统配有385 nm UV LED光源。

Microlight3 D

Smart Print-UV(SP-UV)无掩模光刻系统配有385 nm UV LED光源。它与用于微流体应用的最常用的微电子光刻胶(包括SU-8)兼容。最长3 cm的工作距离允许使用非标准基材,包括弯曲,柔性或较厚的基材,例如光学镜片。

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法国格勒诺布尔

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