对准台提供2 µm的可重复性

AU200-100x100 XY对准台具有1 µm的分辨率和2 µm的可重复性。

 Oes

AU200-100x100 XY对准台具有1 µm的分辨率和2 µm的可重复性。 预加载的V型槽和交叉滚子轴承可提供精度和刚度。 80毫米桌子的占地面积为348 × 348毫米,他们有188 × 188毫米开口光圈。

最佳工程系统(OES)

加利福尼亚州范努伊斯

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